Вакуумные приспособления применяются в основном на шлифовальных и токарных станках. Электростатические приводы используют в зажимных приспособлениях для закрепления немагнитных заготовок, а также тонких и мелких ферромагнитных заготовок, которые не могут быть закреплены на магнитных приспособлениях с обычным шагом между полюсами. На плоскошлифовальных и токарных станках применяют соответственно электростатические плиты и патроны.
В электростатических плитах заготовки притягиваются к зеркалу плиты под действием статических электрических зарядов противоположной полярности. Поверхность плиты имеет полярность одного знака, а полярность заготовки - противоположного. В основание стола встроен нагревательный элемент малой мощности, поддерживающий температуру рабочей поверхности стола на несколько градусов выше, чем температура окружающей среды, что предотвращает конденсацию влаги из воздуха.
Заготовки устанавливают на поверхность плиты в жидкий диэлектрик для предотвращения попадания воздуха (между заготовкой и диэлектрической пленкой), вызывающего ионизацию, сокращающую количество электрических зарядов на поверхности заготовки. При закреплении на плите нескольких мелких заготовок они обязательно должны контактировать друг с другом и по меньшей мере одна из них должна контактировать с токопроводящей пластиной. Электростатические плиты особенно эффективны при шлифовании тонких заготовок.
